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激光综合加工(FCS)
使用双光路设计或三光路设计，主要用于小幅面薄膜太阳能电池激光工艺的开发测试，能够同时实现薄膜太阳能电池激光划线（P1、P2、P3）和清边工艺（P4）
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Equipment Introduction
设备简介
  • 适用领域

    薄膜太阳能电池激光划线与清边。

  • 产品优势

    结构设计同时满足P1/P2/P3/P4划线与清边要求，学习和维护成本低。

    具有轨迹追踪、焦点跟随功能。

    多种定位方式，划线加工精度更高。

结构特点
01
FCS系列设备是用高能量的激光在薄膜太阳能电池表面进行划线和清边的激光加工装置，根据不同的激光器配置，可进行P1、P2、P3线路划线与P4清边工作，同时兼容蚀刻、打标等功能。
02
设备自动化控制系统、光学加工系统、影像系统等高效集成，稳定可靠。
Technical parameters
技术参数
项目 参数
玻璃基板尺寸 100*100mm
300*300mm
300*400mm
500*500mm
1200*600mm
激光器 红外光纤纳秒激光器（100W）绿光皮秒激光器（15W）
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